В России создадут государственные полигоны для испытаний оборудования по выпуску микроэлектроники

Минпромторг, Минобрнауки, производители полупроводников и профильные вузы России создадут полигоны для тестирования оборудования, необходимого в производстве микроэлектроники. Это должно ускорить начало серийного выпуска «железа» российского производства. Строительство каждого полигона может стоить свыше 5 млрд руб.

Строительство полигонов

В России будет реализован проект по строительству сети полигонов для тестирования оборудования, необходимого в производстве микроэлектроники. Тестировать на таких полигонах могут, например, фотолитографические установки, анализаторы цепей, степперы и другие единицы оборудования, которые входят состав технологических маршрутов микроэлектронных и СВЧ-электронных производств, сообщил «Коммерсанту» глава консорциума «Базис» Арсений Брыкин.

В проекте участвуют Минпромторг, Минобрнауки, производители полупроводников и профильные вузы. В частности, планируется реконструкция и оснащение инженерной инфраструктурой, на базе которой появится технологический полигон, одного из корпусов национального исследовательского университета «Московский институт электронной техники» (МИЭТ). Об этом изданию рассказал проректор вуза Алексей Переверзев. Речь идет о реконструкции завода «Протон», который был создан в 1972 г. как экспериментальный завод МИЭТ. Цеха завода расположены в Зеленограде.

«Полигон является площадкой для разработки и трансфера базовых технологических процессов на основе нового оборудования и подготовки инженерных и научных кадров совместно с индустриальными и академическими партнерами», — сказал Переверзев.

По его словам, каждая единица оборудования будет иметь цифровой двойник для сокращения цикла разработки и аттестации технологических процессов.

Подобные полигоны планируется построить также в Санкт-Петербурге и на базе фрязинского АО «НПП "Исток" имени А. И. Шокина».

Какие задачи решат полигоны

Полигон будет решать проблему отладки и тестирования оборудования. «Если тестировать и донастраивать установки на действующих российских полупроводниковых заводах, которых в стране не так много, то придется нарушать технологические процессы, останавливать производство», — пояснил «Коммерсанту» гендиректор «Зеленоградского нанотехнологического центра» Анатолий Ковалев. По его словам, использование тестовых полигонов примерно на год ускорит начало серийного выпуска установок.

Разработка и экспериментальные запуски оборудования для производства микроэлектроники вне помещений, где идет серийное производство,— стандартная практика: ITRI на Тайване, IBM в США, CEA-Leti во Франции имеют аналогичные чистые комнаты, специализированные для R&D-машиностроителей, пояснили изданию в компании «Микрон». И добавили, что считают формат правильным и заинтересованы в появлении таких полигонов.

Новая инфраструктура также нужна для обучения специалистов. «Организация виртуальных технологических линий позволит увеличить объемы подготовки специалистов в области электронного машиностроения, процессов и технологий электронной компонентной базы», — добавил проректор МИЭТ Переверзев.

Цена импортозамещения

По расчетам собеседника «Коммерсанта» в одном из производителей полупроводников, стоимость только инженерной инфраструктуры для подобного полигона составляет около 1,7 млрд руб. Это 30–40% затрат, то есть полная стоимость одного полигона может составлять 4,2–5,6 млрд руб. Строительство, говорит источник газеты, идет в рамках федерального проекта «Подготовка кадров и научного фундамента в электронной промышленности», курируемого Минобрнауки.

Покупать же оборудование за рубежом становится все дороже. Стоимость европейского, американского и японского оборудования для производства в России электронных компонентов по итогам 2022 г. выросла на 40–50%, писал «Коммерсант» в феврале 2023 г. Производители тестируют китайское оборудование, но не уверены в его качестве. Затраты на импортозамещение такого оборудования в целом могут составить миллиарды рублей. Например, CNews в начале июля, ссылаясь на тендерную документацию, писал, что Минпромторг объявил пять новых конкурсов в целом на 9,2 млрд руб. на проведение опытно-конструкторских работ (ОКР) по освоению технологий и созданию промышленных установок для выпуска микросхем по топологиям 250–65 нм.

 Анна Любавина